Вакуумски појачивач са магнетним погоном без цурења
Зеро Леакаге Магнетиц Дриве Роотс Боостер користи херметички затворен магнетни пренос за пренос обртног момента између мотора и коморе за пумпање. Елиминишући конвенционалне динамичке заптивке вратила, овај дизајн уклања примарни пут цурења који је својствен стандардним механичким{1}}појачивачима погона, спречавајући контаминацију процесног гаса и улазак у атмосферу.
Конструисан као појачивач великог-капацитета за примарне пумпе за позадину, овај систем оптимизује брзину пумпања и крајње перформансе вакуума у полупроводничким, хемијским, металуршким и индустријским процесима наношења премаза.
Техничке спецификације
Следећи параметри служе као основа за техничку процену и избор модела:
|
Параметар |
Спецификација / Основа за избор |
|
Пумп Мецханисм |
Роотс вакуумски појачивач са двоструким{0}}ротором |
|
Дриве Интерфаце |
Херметички затворена магнетна спојница (без продирања у осовину) |
|
Номинална брзина пумпања |
Конфигурисано на потребну радну тачку |
|
Ултимате Прессуре |
Зависи од конфигурације система и перформанси помоћне пумпе |
|
Распон радног притиска |
Одређено континуираним оптерећењем гаса и конфигурацијом појачавача |
|
Макс. Дозвољени диференцијални притисак |
Специфичан модел{0}; заштићен бајпас вентилом или пресостатом |
|
Стопа цурења |
Тестирано помоћу масене спектрометрије хелијума (<= 1x10^-9 Pa·m^3/s) |
|
Стандарди прирубница |
Доступни су ИСО-К, ЦФ, ДН или АНСИ стандарди |
|
Метод хлађења |
Ваздушно{0}}хлађено или водом{1}}хлађено (на основу термичког оптерећења) |
|
Компатибилност са гасом |
Прилагођавање материјала на основу анализе корозивног/кондензационог гаса |
|
Повер & Суппли |
Стандардна 3-фазна (380В/440В/480В, 50/60 Хз; АТЕКС опционо) |
Технологија магнетног погона и контрола цурења
Уклањање динамичких заптивки вратила
Стандардни Роотс појачивачи се ослањају на динамичке механичке заптивке вратила, које се постепено троше услед трења, термичког ширења и хемијске деградације.
Систем магнетног погона елиминише ову тачку квара користећи статичку заштитну шкољку (канистер):
Пренос обртног момента: Спољни магнети покрећу унутрашње магнете кроз чврсту, немагнетну баријеру без директног контакта.
Херметичко заптивање: Претвара динамичку заптивку у статички распоред заптивача, елиминишући цурење осовине и штитећи чистоћу процеса.
Мерљиви стандарди цурења
У инжењерству високог{0}}вакума, „нулто цурење“ се односи на строг, мерљив стандард прихватања, а не на непроверену маркетиншку тврдњу.
Гаранција квалитета: Свака јединица је фабрички-тестирана под динамичким вакуумом помоћу детектора цурења хелијума масеног спектрометра (ХМСЛД) да би се потврдила усклађеност са ограничењима брзине цурења хелијума3. . Сертификати о тестирању су укључени у документацију за отпрему.
Кључне индустријске примене
Појачавач магнетног погона је идеалан за апликације које захтевају строго задржавање гаса, изолацију токсичног материјала или ултра-чисти услови:
Полупроводници и електроника:ПВД/ЦВД таложење, јеткање, извлачење кристала и обрада плочица која укључује гасове високе{0}}чистоће или реактивне гасове.
Хемијска и фармацеутска обрада:Рекуперација растварача, вакуум дестилација, термичка дегазација и агресивна екстракција паре.
Вакуумско премазивање и металургија:Оптичко премазивање, заваривање електронским-зрацима, вакуумско индукционо топљење (ВИМ) и пећи за индустријску топлотну обраду.
Високо{0}}искоришћење гаса:Рециркулација ретких или скупих гасова у затвореној{0}}петљи, укључујући хелијум (Хе), аргон (Ар) и сумпор хексафлуорид (СФ6).
Водич за интеграцију система и избор
Избор оптималног Роотс појачивача захтева процену целог вакуумског система уместо да се ослања само на номиналну брзину пумпања.
Израчунајте циљну брзину пумпања:Одредите ефективну брзину на основу укупне запремине коморе, потребног времена евакуације, протока процесног гаса и избацивања гаса из система.
Подударање помоћне пумпе:Уверите се да помоћна пумпа обезбеђује довољан проток да се носи са пражњењем из бустера без прекорачења максималних граница диференцијалног притиска.
Процесни преглед медија:Идентификујте корозивне, токсичне, кондензоване гасове или гасове{0}}напуњене честицама да бисте изабрали одговарајуће премазе ротора (као што су ПТФЕ или никловане), конфигурације гасног баласта или јединице за филтрацију на улазу.
Осигурање квалитета и стандарди производње
Прецизна обрада:ЦНЦ глодање профила одржава ултра-уске зазоре ротора-од-кућишта, оптимизујући волуметријску ефикасност без механичког контакта.
Динамичко балансирање:Ротори се подвргавају динамичком балансирању према ИСО 1940 Г1.0 стандардима како би се осигурале ниске вибрације и дуг животни век лежаја.
Сигурност спајања:Склопови магнетног погона су тестирани на термичко -напрезање- како би се обезбедило нулто клизање под пуним радним оптерећењем.
ФАК
П: Како магнетни погон спречава контаминацију процесног гаса?
О: За разлику од традиционалних Роотс појачивача који користе ротирајуће механичке заптивке око осовине, магнетни погон преноси обртни момент кроз чврсту статичку баријеру за задржавање.
П: Може ли овај појачивач покренути при атмосферском притиску?
О: Стандардни Роотс појачивачи не би требало да се покрећу на атмосферском притиску без заштите, пошто разлике високог притиска могу изазвати преоптерећење мотора и термичко ширење ротора.
П: Како је магнетни погон заштићен од клизања обртног момента или преоптерећења?
О: Магнетна спојница је оцењена изнад максималног захтеваног радног момента. Ако дође до неочекиваног механичког блокирања, магнетно поље ће се одвојити (склизнути) да заштити унутрашње компоненте и мотор од катастрофалног квара.
П: Да ли ова пумпа може да поднесе корозивне или кондензоване гасове?
О: Да. За агресивне или кондензабилне примене, нудимо прилагођене материјале за кућиште и роторе (као што је нерђајући челик или специјални површински премази као што су ПТФЕ и никловани).
П: Које техничке податке треба да наведем када тражим понуду?
О: Да бисте обезбедили тачну димензионисање, наведите: циљни радни притисак, потребну брзину пумпања или запремину коморе са циљним временом застоја пумпе-, састав гаса, постојеће спецификације помоћне пумпе (ако је примењиво), жељене стандарде прирубница и комуналне захтеве (напон/вода за хлађење).
Popularne oznake: појачивач корена магнетног погона без цурења, Кина произвођачи, добављачи, фабрика, произвођачи, добављачи, фабрика






