Механичка бустер пумпа ултра високог вакуума

Механичке пумпе за повишење притиска (УХВ) (Роотс Боостер Пумпе) повећавају проток гаса у вакуум системима ниског{0}}притиска где су потребни велики капацитет пумпања и брзо{1}}прекидање пумпе.
Радећи заједно са компатибилном пратећом пумпом (као што је сува вакуум пумпа или пумпа са лопатицама), појачивач користи механичко дејство са позитивним{0}}померањем за пренос гаса са стране коморе у фазу за позадину. Ово значајно повећава ефективну брзину пумпања у опсегу средњег до ултра{2}}високог вакуумског притиска.

Техничке спецификације

Параметар	Спецификација/услов за избор	Инжењерска разматрања
Врста производа	УХВ механичка бустер пумпа (роот принцип)	Појачавач високог протока-померања{1}}
Стандарди прирубница	ИСО-К / ИСО-Ф, ЦФ прирубнице или прилагођене	Одабрано на основу проводљивости и УХВ интегритета заптивке
Опсег брзине пумпања	Зависно од{0}} модела (погледајте криве перформанси)	Мора се израчунати заједно са проводљивошћу системске линије
Радни притисак	Средњи вакуум до ултра високи вакуум (УХВ)	Управља се потпуним испумпним системом и избацивањем гаса из коморе
Подударање помоћне пумпе	Сува пумпа, лопатица или ротациони клип	Капацитет потпоре мора одговарати протоку пражњења у бустеру
Максимални диференцијални притисак	Граница дозвољеног притиска{0}}специфична за модел (Делта П мак)	Спречава топлотно преоптерећење и механичко напрезање
Вакуум{0}}бочни материјали	Нерђајући челик, третиране легуре, специјални премази	Ниска брзина испуштања гасова и хемијска отпорност
Конфигурација заптивања	Еластомер (ФКМ/ФФКМ) или металне заптивке (ЦФ)	Одабрано на основу брзине цурења хелијума и граница печења
Стопа цурења хелијума	До 1 к 10^-10 мбар Л/с	Верификовано преко детектора цурења масеног спектрометра

Водич за одабир и интеграцију

Да бисте изабрали исправну Роотс пумпу за повишење притиска и обезбедили глатку интеграцију у ваш вакуум систем, процените следеће радне тачке:
Брзина пумпања и циљни притисак:Израчунајте потребну ефективну брзину пумпања на улазу у комору, узимајући у обзир проводљивост цеви.
Пуњење гаса и процесни медији:Идентификујте састав процесног гаса, корозивна својства, честице прашине и стопе одвајања материјала.
Компатибилност помоћне пумпе:Уверите се да помоћна пумпа подноси запремину пражњења без прекорачења максимално дозвољеног диференцијалног притиска (Делта П мак).
Термичка и системска блокада:Конфигуришите прекидаче притиска, фреквентне претвараче (ВФД) и блокаде за хлађење да бисте избегли механичка преоптерећења током фаза грубе обраде.

Типичне апликације

Полупроводници и електроника:Евакуација и руковање процесним гасом за алате за подршку нагризању, ЦВД и литографији који захтевају ниску контаминацију.
Наношење и премазивање танким{0}}филмом:Одржава стабилан радни притисак током процеса високог{0}}проточног ПВД-а, распршивања и оптичког премаза.
Истраживачке лабораторије:Високе{0}}поуздане перформансе вакуума за физику честица, науку о површини и коморе за симулацију свемира.
Вакумске пећи и прерада:Ефикасно подноси велика оптерећења гаса током -дегазације на високим температурама, вакуумског лемљења и термичке обраде.

Контрола квалитета и документација

УХВ поузданост захтева строге стандарде производње и верификације:
Обрада чисте собе:Више-ултразвучно чишћење, одмашћивање растварачем и паковање без прашине-како би се обезбедило мало испуштања гасова.
Прецизно тестирање:Динамичко балансирање ротора, верификација димензија и испитивање цурења хелијума масеног спектрометра.
Испоручени документи:Специфичне криве брзине пумпања за модел{0}, ЦАД/СТЕП оквирни цртежи, електричне спецификације мотора, сертификати материјала и извештаји о испитивању цурења.

ФАК

П: Која је примарна функција механичке бустер пумпе са ултра високим вакуумом?

О: Механичка пумпа за повишење притиска са ултра високим вакуумом повећава ефективну брзину пумпања и проток гаса у вакуум системима ниског{0}}притиска. Он преноси гас из вакуумске коморе ка пратећој пумпи, омогућавајући брзу евакуацију и веће перформансе крајњег притиска.

П: Да ли Роотс механичка пумпа за повишење притиска може да ради независно без помоћне пумпе?

О: Не. Механичка пумпа за повишење притиска захтева одговарајућу помоћну пумпу (као што је сува пумпа или крилна пумпа) за испуштање гаса до атмосферског притиска.

П: Зашто да избегавам избор пумпе за повишење притиска само на основу номиналне брзине пумпања?

О: Номинална брзина пумпања представља идеално померање без урачунавања у стварне{0}}светске губитке система. Стварне перформансе зависе од проводљивости вакуум{2}}вода, капацитета помоћне пумпе, радног притиска и гасног оптерећења коморе.

П: Како да спречим термичко преоптерећење током рада бустер пумпе?

О: Термичко преоптерећење се спречава одржавањем радног притиска унутар дозвољене границе диференцијала (Делта П мак). Коришћење вентила за смањење притиска, фреквентног претварача (ВФД) или прекидача притиска за контролу покретања појачивача- штити пумпу од превеликог оптерећења гаса.

П: Које се мере предострожности за УХВ чистоћу предузимају током производње?

О: За УХВ сервис, компоненте са стране вакуума{0}} пролазе кроз специјализоване процесе чишћења, као што је ултразвучно одмашћивање, да би се елиминисали остаци угљоводоника.

Popularne oznake: ултра високо вакуумска механичка пумпа за повишење притиска, произвођачи, добављачи, фабрика у Кини.