Калибрација вакуум мерачаигра кључну улогу у области мерења вакуума и представља кључни помоћни алат за целокупно истраживање и развој мерења вакуума. Кроз калибрацију, не само да се постојећи релативни вакуум мерачи могу објединити под поузданим стандардима, већ се могу спровести и дубинска истраживања о перформансама вакууммера у фази развоја.
Такозвана "калибрација вакуум мерача" у суштини се односи на операцију "калибрације" релативног вакуум мерача. Треба напоменути да се калибрација вакууммера врши под специфичним условима за одређену врсту гаса, из којих се добијају калибрациони коефицијенти или калибрационе криве.
Једном када се промени врста гаса или се промене радни услови, оригинална калибрација више није применљива и мора се поново калибрисати. Чак и за исти мерни инструмент, ако се мерач замени, његова крива калибрације ће се такође променити у складу са тим. Може се видети да је калибрација релативног вакуум мерача не само неопходна, већ и да се мора редовно спроводити, у супротном може доћи до грешака мерења изван дозвољеног опсега.
Калибрација је усмерена на укупни вакуум мерач, покривајући и вакуумметар као примарни инструмент и електронско коло као секундарни инструмент. Обично се ова два калибришу заједно, али је идеалније калибрисати вакуум мерач и електронско коло одвојено.
Калибрација вакуум мерача захтева стандардни вакуум мерач и систем калибрације, а постиже се посебним методама.
Стандарди за вакуум обухватају апсолутне вакуум мераче, стандардне релативне вакуум мераче (или секундарне стандардне вакуум мераче) и апсолутне калибрационе системе.
Сви апсолутни вакумметри могу послужити као еталони за вакуум. Систем за калибрацију вакуум мерача који користи апсолутни вакуум мерач као референцу и прецизно израчунава регенерисани ниски притисак након пада притиска као стандард се назива апсолутни калибрациони систем.
На пример, систем калибрације методе експанзије примењује принцип статичке топлотне равнотеже, заснован на Бојловом закону идеалних гасова. Овај систем проширује доњу границу калибрације манометра У-цеви на високи вакуум (10 ⁻⁴ Па). Вакумметари високе стабилности и прецизности могу се користити као секундарни еталони за калибрацију радних вакууммера након калибрације. Такви вакууммери се називају секундарним стандардним вакуум мерилима. У области метрологије еталони су систем уређен према нивоима тачности.
Државна управа за технички надзор је 1. маја 1990. године одобрила и отпочела имплементацију важног стандарда „Систем калибрације вакуумских мерних инструмената“ (ЈЈГ2022-89).
Брзим развојем савремене технологије значајан напредак је направљен и у области вакуумске технологије. Тренутно, опсег аквизиције и мерења вакуума је увелико проширен, протежући се од првобитног атмосферског притиска (10 ⁵ Па) до веома широког опсега изузетно високог вакуума (<10 ⁻¹⁰ Pa).
Међутим, у стварној индустријској производњи и научноистраживачким активностима, кроз опсежну праксу и статистичка открића, опсег притиска који људи користе углавном је концентрисан између 10 ⁻⁸ и 10 ⁵ Па. У овом специфичном опсегу притиска, како би се обезбедила тачност и доследност мерних вредности вакуума, појавио се „Систем за калибрацију инструмената за мерење вакуума“.
Овај систем верификације игра кључну улогу. То је кључна карика у обезбеђивању тачности и поузданости вредности мерења вакуума, преко које се може постићи ефикасан пренос вредности мерења вакуума између различитих веза и опреме.
Конкретно, у области вакуумске метрологије, тачност инструмената за мерење вакуума на свим нивоима је кључна за цео процес мерења. Систем калибрације је као прецизан лењир, који обезбеђује јединствен мерни стандард за ове инструменте за мерење вакуума и омогућава стриктну калибрацију различитих нивоа инструмената за мерење вакуума.
И треба нагласити да је калибрациони систем углавном усмерен на специфични опсег притиска од 10 ⁻⁸ до 10 ⁵ Па. У оквиру овог опсега, било да се ради о вакуумском стандардном уређају који се користи за калибрацију и испитивање од стране метролошког одељења, вакуум мерач коју у експерименталном процесу користи одељење за научно истраживање, или опрема за мерење вакуума укључена у производни процес од стране индустријске одељењу, сви они морају бити калибрисани према овом систему калибрације како би се обезбедила тачност и поузданост вредности мерења вакуума у целокупној индустријској производњи и процесу научно-истраживачког рада, као и да би се избегли различити проблеми узроковани нетачним мерењем вакуума, као што су одступање експерименталног резултата, нестабилан квалитет производње итд.
